미국 국가 반도체 기술센터(NSTC)는 최근 뉴욕주에 위치한 알바니 나노테크 단지에서 ‘NSTC EUV 액셀러레이터’ 개소식을 개최했다. 지난달 EUV 노광장비를 반입한 데 이어 본격적인 R&D 지원 서비스를 개시한 것이다.
EUV 노광장비는 10나노미터(㎚) 안팍의 초미세 회로를 그리는데 필수인 반도체 노광장비다. 네덜란드 ASML이 독점 공급 중이며, 가격이 대당 2000억~3000억원에 달한다.
첨단 반도체 개발이나 제조에 꼭 필요하지만 공급이 한정돼 있는데다, 고가에 유지관리도 쉽지 않다보니 전 세계 극소수의 반도체 대기업을 제외하곤 언감생심의 대상이었다.
미국은 중소·중견 소부장 기업과 대학·연구기관이 EUV를 활용해 첨단 반도체 기술을 개발할 수 있도록 이번 연구시설을 마련했다. 2022년 발효된 ‘반도체 및 과학법(칩스법)에 따른 것이다.
EUV 노광 장비 뿐 아니라 산·학·연의 기술 혁신을 위한 협업 공간과 자원을 제공하고, 전담 인력 배치, 인재 발굴과 양성을 위한 프로그램 등을 지원할 계획이다.
미국은 이를 통해 세계 최대 반도체 연구소인 벨기에 아이멕(imec)과 같은 개방형 협업 R&D 환경을 조성하는 것을 목표로 하고 있다.
한국, 대만, 일본 등으로 넘어간 미국의 반도체 산업 경쟁력을 복원하고 미국 중심으로 공급망을 재편하겠다는 의도도 담겼다.
EUV 액셀러레이터에는 2㎚ 이하 회로를 그릴 수 있는 차세대 EUV 장비(High NA)도 내년 도입된다.
디어드레 핸포드 냇캐스트 최고경영자(CEO)는 “EUV 노광은 더 작고, 더 빠르고, 더 효율적인 반도체 칩의 대량 생산을 가능하게 하는 초석 기술로 부상했다”며 “EUV 액셀러레이터를 통해 미국이 미래 기술 리더십을 강화할 수 있는 핵심 도구를 제공할 것”이라고 밝혔다.
권동준 기자 djkwon@etnews.com
